1) Lineární zavaděč
1) 直線導入器
特 徴
● 全金属製、超高真空対応
● 手動型または圧縮空気・モーター駆動型
● オプション、特注対応可
直線導入器は、真空の環境において、対象物を導入ポート軸方向に移動させるために使用する機器です。
送りネジ式及び押引き式のそれぞれに、手動型及び自動型のタイプがあります。
また、オプション、特注の対応も可能です。
直線導入器 共通仕様
真空度
UHV(10-10 mbar)
ヘリウム漏れ量
5×10-10 mbar·l / s
耐熱温度
220℃a)
材質
ステンレス、アルミニウムb)
シャフトシール
溶接ベローズ
移動範囲
25、50、100 mm
シャフト径
φ6 mm
耐久性
10,000サイクル
<備考>
a)本体金属部分の耐熱温度です。
b)大気側のモーター、握り、圧縮空気駆動部を除きます。
送りネジ式直線導入器 仕様
手動
自動
駆動方式
1mmピッチ送りネジ
アクチュエーター
目盛付つまみ
2相ステッピングモーターa)
分解能
10μm /目盛
5μm /ステップb)
再現性
―
±1μm
シャフト先端
M4タップ穴
<備考>
a)モーターは2A/相(バイポーラー接続時)、長さ
300mm、8本リード線付です。
b)フルステップ時の分解能です。
<送りネジ式直線導入器(モーター付)>
押引き式直線導入器 仕様
エアシリンダー
空気圧
( 5 ~ 7 ) bar
空気用ポート
M5、φ4 mm用エルボーユニオン付
位置検出器
(オプション)
負荷電圧
DC 24V
負荷電流
( 5 ~ 40 ) mA
インジケーター
赤LED
リード線長さ
3 m
大気側シャフト延長
(オプション)
最短長さ
21 mm
固定用先端部
M6、16 mma)
圧縮空気ソレノイド
(オプション)
電圧
DC 24Vb)
最大消費電力
1W以下
リード線長さ
約0.3 m
<備考>
a)六角ナット付です。
b)230V ACも可能です。
<押引き式直線導入器 及びオプション>
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ODKAZY
Lineární zavaděč typu vodicího šroubu
Lineární zavaděč push-pull
Možnosti lineárního zavaděče
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