3) Vakuový ohřívač
Rysy
Kaptonový fóliový ohřívač
● Lze použít
při nízkých teplotách ● Tenký
● Snadno se ohýbá
● Kompatibilní s HV a UHV
Kompaktní keramický ohřívač
● Ultrakompaktní
● Vysoká tepelná odolnost
● Vysoký výkon
● Kompatibilní s UHV
Vhodné pro použití ve stísněných prostorech ve vakuových komorách, nabízíme nízkoprofilové kaptonové ohřívače fólií a malé keramické ohřívače
.
Tyto ohřívače mají malou tepelnou kapacitu a velkou kontaktní plochu, takže rychle reagují na změny proudu a lze je použít s teplotními senzory,
regulátory teploty, chladicími systémy atd. pro přesnou regulaci teploty.
Specifikace ohřívače
Kaptonový fóliový
ohřívač
Malý keramický
ohřívač
Stupeň vakua
10-9 mbar/10-11 mbar
10-11 mbar
Teplotní rozsah
< 200 °C
-40 °C ~ 500 °C
Materiál topného tělesa
Slitiny niklu
platina
Izolační materiál
Kaptonová fólie
Al2O3
Materiál drátu
Postříbřená měď
platina
Izolační materiál elektrického vodiče
Teflon/kapton
bez
* Informace o vodičích, svorkách pro zavedení proudu, konektorech atd. pro elektrické připojení ohřívače k ohřívači ve vakuu
naleznete v každé položce ■ Vakuové elektrické součásti.
* Senzory pro regulaci teploty ve vakuu zahrnují vakuové termočlánkové vodiče a zaváděcí svorky
termočlánku.
* Kromě výše uvedených ohřívačů jsou k dispozici také slídové ohřívače, keramické ohřívače atd. (na zakázku).
O použití ohřívačů fólie Kapton
・Vzhledem k tomu, že ve vakuu nedochází k vedení tepla vzduchu, ujistěte se, že se před
použitím dotýkáte obou stran topného
tělesa kovovou deskou bez mezer.
・Spojení mezi vodičem a ohřívačem je silnější než tělo ohřívače, proto jej nepřiskřípněte
kovovou deskou.
・Hodnoty výstupu, proudu a napětí každého ohřívače jsou hodnoty při použití při 40 °C, takže při použití při vysokých teplotách snižte výkon, jak je uvedeno v tabulce vpravo.
Provozní teplota [°C]
40
120
160
Přibližný maximální výkon
[%]
100
55
20
/////////////////////////////////////////////////////////////////
ODKAZY
カプトンフォイルヒーター
小型セラミックスヒーター
ヒーター(その他)
2) Vakuově kompatibilní odporový teploměr Pt
Rysy
● Vysoká přesnost, vysoká stabilita
● Snadno měřitelná teplota
● Široký rozsah měření teploty
● Kompatibilní s ultra vysokým vakuem
Pro ultra vysoké vakuum jsou k dispozici dva typy platinových odporových teploměrů (typ se skleněnou trubicí a typ s keramickou základnou).
Pro přesné měření teploty můžete také použít příslušenství k teploměrům (Constantanův drát, Manganinův drát).
Vlastnosti odporového teploměru Pt
Odporový teploměr je vyroben z elementového materiáluVyužití charakteristiky, že elektrický odpor se mění s teplotouJe to teploměr.
V případě platinového teploměru mají odpor a teplota v teplotním rozsahu přibližně (20~1200)K následující lineární vztah.
R(T) = R(To) · (1 + α · (T - Do)) α = 0,003851 K-1 (T=0~100°C)
Platina (Pt) má vysokou chemickou stabilitu a téměř žádnou změnu odporu a teplotního vztahu v důsledku prostředí, což umožňuje přesné měření teploty. Kromě toho je ve srovnání s termočlánky metoda měření jednodušší, protože není potřeba referenční bod ani kompenzační vodič.
Specifikace odporového teploměru Pt
Typ skleněné trubice
Typ keramické základny
Odpor 0°C [ Ω ]
100
Rozsah měřících teplot a)[°C]
-200 ~ 450
-70 ~ 500
Třída (třída) b)
B
1/3B
Tolerance c)[ °C ]
±(0.30+0.005|t|)
±(0.10+0.005|t|)
Materiály jiné než prvky
Platina, vysoce čisté křemičité sklo
Platina, oxid hlinitý
Keramika, sklo
Vakuum [ mbar ]
1×10-10 (ultra vysoké vakuum)
Teplota pečení d)[°C]
280
< poznámky>
a) Při vysokoteplotních měřeních věnujte pozornost tepelně odolné teplotě spojení s přívodním vodičem a izolačnímu povlaku přívodního drátu.
b) Úroveň je definována normami IEC 751, DIN 43760 nebo JIS C 1604-1997.
c) Tolerance je maximální míra
chyby získaná odečtením skutečné naměřené teploty od hodnoty získané převodem hodnoty odporu indikované odporovým prvkem v tabulce hodnot referenčního odporu.
d) Jedná se o typ teplotně odolného vodiče, který jako přívodní drát používá izolovaný plášťový drát Kapton.
Model: 343AC-PT100-1.3-B-1m, 343AC-PT100-C2-1m
Připojení odporového teploměru Pt
Aby se zabránilo odporu přívodních vodičů mezi teploměrovým prvkem a měřicím zařízením, šumu atd., aby nebyla ovlivněna přesnost měření, doporučuje se čtyřvodičové připojení se dvěma vodiči připojenými
ke každému konci článku. Kromě toho je v závislosti na měřicím přístroji možné také třívodičové připojení.
Schéma zapojení teploměru < Pt: 4vodičové připojovací >
I: Proud pro měření odporu, U: Napětí pro měření odporu
Schéma zapojení teploměru
* Použijte také proudové zaváděcí svorky, vakuové kabely, vakuové konektory a připojovací příslušenství pro ultra vysoké vakuum.
(Klikněte zde pro vakuové elektrické komponenty)
* Pokud byste chtěli teploměr nebo regulátor teploty, kontaktujte nás.
O samozahřívání a teplotním rozdílu odporového teploměru Pt
[Samoohřev]
Vzhledem k tomu, že se teploměr sám ohřívá v důsledku vysokého měřicího proudu, nastavte před měřením měřicí proud na hodnotu několika mA nebo méně. Podle JIS C 1604-1997 je specifikovaná hodnota proudu 0,5, 1 nebo 2 mA.
Příklad: Nárůst teploty vzduchu o pokojové teplotě v důsledku měřicího proudu: Cca. 0,4 °C/mW (teploměr na bázi keramiky)
[Teplotní rozdíl]
Vzhledem k tomu, že teplotní chyby mohou nastat v důsledku vztahu vedení tepla mezi montážní částí teploměru a přívodním vodičem, kontaktní plocha mezi předmětem
a teploměrem by měla být co největší a tenký přívodní drát (φ0,25 mm). Použijte prosím následující příkaz.
Pro přesné měření teploty při kryogenních teplotách doporučujeme φ 0,08 mm konstantanový drát (312AC-PTFE-008-KON
), který má nízkou tepelnou vodivost.
/////////////////////////////////////////////////////////////////
ODKAZY
Pt odporový teploměr
温度計アクセサリー
1) 真空対応熱電対
特 徴
● 高真空・超高真空対応
● カプトン絶縁被覆タイプの熱電対線
● D-sub接続対応の熱電対圧着ピン
● 熱電対・ヒーター複合導入端子
● 豊富な熱電対タイプ
温度測定用および温度制御用部品として、高真空・超高真空対応の熱電対線、熱電対導入端子、熱電対・
ヒーター複合導入端子、および熱電対用アクセサリーをご用意しています。
熱電対タイプ 総覧
タイプ
電極材質
温度範囲a)[ ℃ ]
ソケット
色b)
備 考
+
-
K
クロメル®
アルメル®
-200 ~ 1250
黄c)
・最も一般的なタイプ
・アルメルは磁性あり
C
W-Re(5%)
W-Re(26%)
0 ~ 2320
赤
・導入端子電極:補償導線f)
・酸化性の強い環境では使用
不可
N
ニクロシル
ニッシル
-250 ~ 1300
桃d)
・温度範囲が最も広い
E
クロメル®
コンスタンタン®
-200 ~ 900
紫
・高出力、高分解能
J
鉄
コンスタンタン®
0 ~ 750
黒
T
銅
コンスタンタン®
-200 ~ 350
なしe)
R
Pt-Rh(13%)
Pt
0 ~ 1450
なしe)
・導入端子電極:補償導線f)
S
Pt-Rh(10%)
Pt
0 ~ 1450
なしe)
・導入端子電極:補償導線f)
<備考>
a)値は真空内における温度範囲です。
ただし、熱電対線がカプトンまたはテフロン絶縁被覆の場合は、各熱電対線の耐熱温度となります。
b)導入端子の大気側に付いているプラスチックコネクターの色です。
c)ANSI規格と同色です。
d)IEC規格と同色です。
e)導入端子の大気側はネジ留め方式です。
f)補償導線は、0 ~ 250℃の範囲で熱電対本材質と同じ熱電特性を持つ導線で、導入端子、延長ケーブル
等に原価削減のため利用されています。
<カプトン絶縁被覆熱電対線>
<熱電対導入端子(CFフランジ付)
Kタイプ2ペア>
熱電対線 仕様
絶縁被覆
カプトン®a)
テフロン
無し
真空度
超高真空、10-11 mbar
高真空、10-8 mbar
超高真空、10-11 mbar
耐熱温度
260℃
220℃
温度範囲内c)
放射線耐力
107 Rad = 105 Gyb)
使用不可
使用可d)
<備考>
a)絶縁被覆は、カプトンフォイルを線に巻き、PTFE材で留める方法によります。
b)電線を静止状態で使用した場合の耐力です。
c)「熱電対タイプ 総覧」を参照ください。
d)熱電対に利用されている金属の放射線耐力によります。
熱電対導入端子、熱電対・ヒーター複合導入端子 仕様
熱電対
導入端子
熱電対・ヒーター複合
導入端子
大気側MS
プラグ付
熱電対導入端子
両側MS
プラグ付
熱電対導入端子
対応熱電対
タイプa)
全てのタイプ
K、C、(N、E、J)
K、(E、J)
対応フランジ
CFフランジ
真空度
超高真空 10-11 mbar
耐熱温度
400℃ b)
450℃ c)
大気側
接続方法
ソケット
熱電対 :ソケット
ヒーター :ピンコネクタd)
MSソケット
真空側
接続方法
ネジ留め
熱電対 :ネジ留め
ヒーター :ピンコネクタd)
熱電対圧着ピン
真空用MSソケット
<備考>
a)カッコの中のタイプは特注品です。
b)大気側プラスチックソケットの耐熱温度 :120℃
c)大気側MSソケットの耐熱温度 :125℃
d)ピンコネクターの詳細は、「コネクター接続アクセサリー」の ピンコネクター をご覧ください。
ピンコネクターは別途ご注文品です。
熱電対用アクセサリー
[種類]
・高温対応セラミックスソケット
・熱電対圧着ピン(MS導入端子用) UHV対応
・熱電対圧着ピン(D-subコネクター用) UHV対応
[熱電対・D-sub接続]
熱電対導入端子を使用するほかに、「熱電対圧着ピン(D-subコネクター用)」を用いることで、D-sub電流
導入端子・D-subコネクターを利用した熱電対接続が可能です。
→熱電対圧着ピンと電流導入端子ピンの材質の違いによる測定誤差:1.2℃以下
D-sub接続の詳細は、こちら をご覧ください。
※ クロメル® (Chromel)とアルメル® (Alumel)はHoskins Manufacturing社の登録商標です。
※ コンスタンタン® (Constantan)はWilber B Driver 社の登録商標です。
※ カプトン®は、米国デュポン社の登録商標です。
/////////////////////////////////////////////////////////////////
ODKAZY
Topné potrubí
Tepelná energie 対導入端子
熱電対・ヒーター複合導入端子
MSコネクター付熱電対導入端子
熱電対用アクセサリー
JA
EN